超高真空マニピュレータ
中空回転導入機 ARMW
各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる回転導入機構です。
1.圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
2.マグネットカップリング方式を採用
3.回転トルク：1.7Nm
4.中空軸により多軸導入に応用可能
5.回転中空軸の寸法 / 形状指定が可能
6.モーター駆動にも対応可能
7.分解能：0.1° (手動ハンドルオプションの場合)
8.回転軸寸法指定可能
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 許容リーク量 | ≦1.33x10-11Pa・m3/sec |
|---|---|
| 駆動方式 | マグネットカップリング方式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 型 式 | A接続フランジ B接続フランジ |
C （mm） |
回転トルク (Nm) |
重量 （Kg） |
|---|---|---|---|---|
| ARMW-275/133/S1 | ICF70-FH ICF34-FT |
100 | 1.7 | 2.4 |