超高真空マニピュレータ

ウォームギヤ回転導入機

各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる回転導入機構です。

1.圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
2.ウォームホイール&ギヤ駆動方式
3.中空軸により多軸導入に応用可能
4.回転軸の寸法 / 形状指定が可能

製品詳細

株式会社エイブイシー

※表示価格は税込みです

AWG-275

販売価格:¥583,000

数 量:
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
駆動方式 マグネットカップリング方式
許容加熱温度 ≦200℃
型 式 A接続フランジ
B接続フランジ
C
(mm)
減速比 重量
(Kg)
AWG-275 ICF70-FH
ICF34-FT
ご指定長 1/30 3.6