超高真空マニピュレータ
ラック&ピニオンフィードスルー/ALPシリーズ
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 許容リーク量 | ≦1.33x10-11Pa・m3/sec |
|---|---|
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ラック＆ピニオン方式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 型 式 |
Z軸移動距離 (mm) |
A接続フランジ B接続フランジ |
C （mm） |
移動軸径 (mm) |
重量 （Kg） |
|---|---|---|---|---|---|
| ALP-275/800 | 800 | ICF70-FH ICF34-FT |
980 | φ8 (g6) | 8.9 |
| ALP-275/1000 | 1000 | 1180 | 9.6 | ||
| ALP-275/1200 | 1200 | 1380 | 10.3 |