超高真空マニピュレータ
PUSH-PULL型直線導入機
真空中での調整および位置確認に利用できます。
通常の導入機よりもスムーズに操作ができます。
１．圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
２．非磁性・ベーキング対応
３．シャッター機構などの大気側での位置確認が可能
４．押付を必要とされる機構に
５．圧空駆動オプション対応
通常の導入機よりもスムーズに操作ができます。
１．圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
２．非磁性・ベーキング対応
３．シャッター機構などの大気側での位置確認が可能
４．押付を必要とされる機構に
５．圧空駆動オプション対応
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 型式 | ALMP-133 |
|---|---|
| 接続フランジ | ICF34-FH |
| 移動軸 | φ6 (g6) |
| 移動量 | 25・50・75・100・150 mm |
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 駆動方式 | プッシュプル型 |
| 駆動推力 | 30N |
| 型式 | Z軸移動距離(mm) Z軸移動精度(mm) |
A接続フランジ | 移動軸径(mm) | C(mm) | D(mm) | 重量(Kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ALMP-133/25 | 25 5 |
ICF34-FH | φ6 (g6) |
193～218 | 50～75 | 0.7 |
| ALMP-133/50 | 50 5 |
232～282 | 50～100 | 0.9 | ||
| ALMP-133/75 | 75 5 |
264.5～339.5 | 50～125 | 1 | ||
| ALMP-133/100 | 100 5 |
304.5～404.5 | 50～150 | 1.1 | ||
| ALMP-133/150 | 150 5 |
369～519 | 50～200 | 1.3 |