真空ポンプ
磁気軸受式STPターボ分子ポンプセット
完全磁気浮上式STPターボ分子ポンプUHVシリーズは、全翼回転翼を搭載した超高真空対応のターボ分子ポンプです。
※コントローラ一体型のSTP-ixシリーズはお問い合わせください。
※コントローラ一体型のSTP-ixシリーズはお問い合わせください。
エドワーズ株式会社
※表示価格は税込みです
- 本体
- コントローラー
301/451用：YT21Z0Z01
603/1003用：YT95Z0Z00 - 電源ケーブル
301/451用：B70700090(3m)
603/1003用：PT49Y0A00(5m) - 接続ケーブル
301/451用：B70700010(3m)
603/1003用：YT75130020(5m)
【用途】
- 電子顕微鏡
- 表面分析装置
- 質量分析装置
- 加速器
- 核融合実験装置
- 半導体製造装置(イオン注入、ドライエッチ、MBE)