ロードロックチェンバー
表面処理:内外面#400バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa・m3/sec以下
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
ICF114タイプ
ICF114×6ヶ所
ICF70 ×3ヶ所
ICF34 ×1ヶ所
ALLC-6
ICF152タイプ
ICF152×6ヶ所
ICF70 ×3ヶ所
ICF34 ×1ヶ所
ALLC-8
ICF203タイプ
ICF203×6ヶ所
ICF70 ×3ヶ所
ICF34 ×1ヶ所
真空計・圧力計
超高真空マニピュレータ
ガス導入系
蒸着・スパッタ源
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リークディテクタ
真空計・圧力計
超高真空マニピュレータ
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