ソフトスタートフラップ
粗引き真空排気中での乱流を減少させる
下記の事象についての防護
・配管、チャンバー内での乱流
・真空システムのパーティクル汚染
・乱流による基板の遥動
VAT Japan株式会社
※表示価格は税込みです
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