真空ポンプ
分析・計測装置向 ターボ分子ポンプ
・超コンパクト設計差動排気に最適
・グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現
・衝撃に強く、装置の可動部へのTMP搭載が可能
・ポンプとコントローラーが一体のタイプと
セパレートタイプから選択
・高圧縮比
・高背圧でも連続運転可能
・コントローラー(TC70)一体型
・完全姿勢自在
・振動に強く、運転中でも移動可能
※ISOフランジで強制空冷です。
その他の仕様もございますのでお問い合わせ下さい。
・グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現
・衝撃に強く、装置の可動部へのTMP搭載が可能
・ポンプとコントローラーが一体のタイプと
セパレートタイプから選択
・高圧縮比
・高背圧でも連続運転可能
・コントローラー(TC70)一体型
・完全姿勢自在
・振動に強く、運転中でも移動可能
※ISOフランジで強制空冷です。
その他の仕様もございますのでお問い合わせ下さい。
株式会社大阪真空機器製作所
※表示価格は税込みです
| 排気速度 | N2 | 70 L/s |
|---|---|---|
| H2 | 40 L/s | |
| 最大圧縮比 | N2 | 1.0×108 |
| H2 | 1.0×105 | |
| 到達圧力(Pa) | 10-8台 (CF) | |
- ポンプ本体（強制空冷/吸気口 ISO R63)
- コントローラー(TC76)
- モーターケーブル(3m)
- ファンケーブル(3m)
