真空計・圧力計
ミニチュアB-Aゲージ測定球
ガラス製ゲージ球の大きく、割れやすいという欠点を除いた金属製の全く新しい小型ゲージ球です。
取り付け場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等のゲージの性能を損なう事無く小型化されており、到達圧力からスパッタなどのプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が１つのゲージで行えます。
キヤノンアネルバ株式会社
※表示価格は税込みです
| ボディ材質 | SUS304 |
|---|---|
| 測定上限圧力 | 13Pa |
| 測定下限圧力 | 10-6Pa台(MG-2,MG-2M) 10-7Pa台(MG-2F) |
| 感度 | 0.045Pa-1 |
| フィラメント | フィラメント２本内蔵 |
| フィラメント材 | イットリアコートイリジウム線 |
| 測定球容積 | 約12cc |
| 所要電力 | ﾌｨﾗﾒﾝﾄ：2.3W ｸﾞﾘｯﾄﾞﾃﾞｶﾞｽ：1.0W |
| 取り付け方法 | φ15ゲージアダプタまたは、各種フランジに溶接可(MG-2) φ18ゲージアダプタ(MG-2M) φ70ICFフランジに接続(MG-2F) |
