分析

四重極型質量分析計（トランスデューサタイプ）

蒸着装置成膜前の残留ガス分析に最適

日本語表示、WINDOWSエクスプローラーに準拠した表示で初めての方にも操作が簡単です。
ユーザーフレンドリーな操作性の良さを随所にちりばめています。

・分析管の低放出ガス化、耐食性を更にアップ!!
・QUADVISIN2による操作性の良さ
・質量分析計の操作性を追求

※四重極型質量分析計用RS-232Cケーブル（1.5m、3m、5m、10m）が別途必要になります。下記価格表より選択下さい。

キヤノンアネルバ株式会社

※表示価格は税込みです

M-101QA-TDF/W

#20094

参考価格：￥2,614,700

販売価格：お問合わせ下さい

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M-101QA-TDM/W

#20092

参考価格：￥2,802,800

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M-101QA-TDM/Y

#20093

参考価格：￥2,963,000

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M-201QA-TDM/W

#20090

参考価格：￥2,817,100

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M-201QA-TDM/Y

#20091

参考価格：￥3,026,100

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RS-232C-1.5

四重極型質量分析計用RS232Cケーブル（1.5m）

参考価格：￥4,400

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RS-232C-3

四重極型質量分析計用RS232Cケーブル（3m）

参考価格：￥5,500

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RS-232C-5

四重極型質量分析計用RS232Cケーブル（5m）

参考価格：￥6,600

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COM-1(USB)H

USB-RS232C コンバータ

参考価格：￥40,700

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機種名		M-101QA-TDF	M-101QA-TDM	M-201QA-TDM
測定質量数範囲		1-100AMU		1-200AMU
分解能		M/ΔM≧2M
感度(N2)	FC	7.0×10⁶A/Pa以上	2.5×10⁶A/Pa以上	1.8×10⁶A/Pa以上
感度(N2)	EM	-	2.5A/Pa以上	1.8A/Pa以上
最小検知分圧		5.0×10¹⁰Pa以下	1.0×10¹²Pa以下
フィラメント		イットリアコートイリジウム(うち一本は予備フィラメント) オプション：タングステン
接続フランジ		φ70ICF
通信インターフェイス		RS-232C / 485

【構成】

分析管
コントローラ
ACアダプタ
ソフトウェアQUADVISION2

【用途】

残留ガスモニタ
加速器等の真空モニタ
無機ガス分析
昇温脱離ガス分析

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