真空ポンプ

超小型高真空対応NEGポンプ

どう排気速度イオンポンプに比べてサイズ1/5!!重量1/10以下!
・10-5Pa台からの使用が可能!
・従来の合金と比べて数十倍の吸増量

SAES Getters S.p.A.

※表示価格は税込みです

CapaciTorrHV200

ICF70/ICF114

参考価格:¥1,336,280

販売価格:お問合わせ下さい

数 量:

CapaciTorrHV1600

ICF203

参考価格:¥3,501,630

販売価格:お問合わせ下さい

数 量:

CapaciTorrHV2100

ICF253

参考価格:¥4,311,780

販売価格:お問合わせ下さい

数 量:
型式 CapaciTorrHV200 CapaciTorrHV1600 CapaciTorrHV2100
フランジサイズ 取付フランジICF70/ICF114 取付フランジICF203 取付フランジICF253
専用電源 専用電源NEG POWER MINI #3B0110 専用電源NEG POWER C1 #3B0501
ケーブル 出力ケーブル3m NEG CABLE 4P10A 3MT #3B0601 出力ケーブル3m NEG CABLE 6P10A 3MT #3B0602

【用途】

  • 高真空領域における薄膜形成装置
  • MBE
  • ロードロックチャンバーの排気速度時間短縮
  • SEM、TEM、FIBその他の分析システム