超小型高真空対応NEGポンプ
・10-5Pa台からの使用が可能!
・従来の合金と比べて数十倍の吸増量
SAES Getters S.p.A.
※表示価格は税込みです
| 型式 | CapaciTorrHV200 | CapaciTorrHV1600 | CapaciTorrHV2100 |
|---|---|---|---|
| フランジサイズ | 取付フランジICF70/ICF114 | 取付フランジICF203 | 取付フランジICF253 |
| 専用電源 | 専用電源NEG POWER MINI #3B0110 | 専用電源NEG POWER C1 #3B0501 | |
| ケーブル | 出力ケーブル3m NEG CABLE 4P10A 3MT #3B0601 | 出力ケーブル3m NEG CABLE 6P10A 3MT #3B0602 | |
【用途】
- 高真空領域における薄膜形成装置
- MBE
- ロードロックチャンバーの排気速度時間短縮
- SEM、TEM、FIBその他の分析システム






















































