真空ポンプ
複合型ターボ分子ポンプ
大流量のガスを流せる磁気浮上式型の複合分子ポンプ
株式会社大阪真空機器製作所
※表示価格は税込みです
吸気フランジICF152
※補助ポンプ320L/min使用時
磁気軸受型・単相200V
| 排気速度 | 320L/s (N2) |
|---|---|
| 到達圧力 | <1×10-6Pa |
| 最大ガス流量 | 2000sccm (N2) |
磁気軸受型・単相200V
- 本体
- コントローラ
- 空冷ファン
- 出力ケーブル３m
- 入力ケーブル３m(端末処理無し)
- 吸気口保護金網