真空ポンプ
高圧縮型(複合軸受)ターボ分子ポンプTMP-B70
コンパクトな設計
分析装置におすすめ
分析装置におすすめ
株式会社島津製作所
※表示価格は税込みです
| 形名 | TMP-B70 | |
|---|---|---|
| 冷却方法 | 強制空冷 | |
| 到達圧力 | ベーキング後 | 10-8Paオーダー |
| ベーキング前 | 10-6Paオーダー | |
| 排気速度 | N2 | 70L/s |
| He | 60L/s | |
| H2 | 49L/s | |
| 排気速度 (KF40) | N2 | 41L/s |
| He | 46L/s | |
| H2 | 42L/s | |
| 最大圧縮比 | N2 | >1×109 |
| He | 4×107 | |
| H2 | 4×105 | |
| 臨界背圧(N2ガス、87000rpm) | 1400Pa | |
| 連続運転可能な最大排気口圧力 | N２ | 900pa(周囲温度25℃以下) |
| 600pa(周囲温度35℃以下) | ||
| 質量 | ICF | 5.0kg |
| VG | 3.3kg | |
| ISO | 3.0kg | |
| KF | 3.1kg | |
| 軸受方式 | 磁気軸受 セラミック玉軸受 |
|
| 吸気口フランジ | ICF114、VG65、ISO63K、KF40 | |
| 排気口フランジ | KF16 | |
| 規定回転数 | 87,000rpm | |
| 起動時間(80%)まで | 1.7分 | |
| 取り付け方向 | 全方位 | |
| 騒音[弊社測定方法による] | 48dB(A)以下 | |
| 許容磁束密度 | 半径方向 | 3mT |
| 軸方向 | 15mT | |
| 電源 | 電圧 | DC24V±5% |
| 最大所要電力 | 120W | |
- TMP-B70本体(コントローラ一体型)
- AC100V電源セット
- 接続ケーブル3m
- 空冷ファン
①コントローラー一体型の場合
- TMP-B70本体
- 表示付電源EI-DPS240(J)
- ACケーブル
- 接続ケーブル3m
- 空冷ファン
②コントローラセパレート型の場合