真空バルブ

低価格オールメタルアングルバルブ

トルク管理不要で
300℃までベーク可能!
(開閉位置において)
バルブ寿命:1000サイクル!!
耐・放射線性:108Gy!!!

VAT Japan株式会社

※表示価格は税込みです

54124-GE02

ICF34

参考価格:¥145,420

販売価格:お問合わせ下さい

数 量:

54132-GE02

ICF70

参考価格:¥162,800

販売価格:お問合わせ下さい

数 量:

54136-GE02

ICF114

参考価格:¥331,320

販売価格:お問合わせ下さい

数 量:

手動式

リーク量:ボディ・バルブシート共 <1・10-11Pa m3 s-1
使用圧力範囲 XHV to 2bar (abs)
プレートにかけうる許容最大差圧 2bar
バルブを開ける時の許容最大差圧 1bar (>1bar with reduced cycle life)
分子流領域におけるコンダクタンス -DN 16/40/63   5/50/105 ls-1
バルブの寿命 1,000 cycles
回転数/ストローク -DN 16/40/63   6/11/9
ベークアウト温度 バルブ ≦300℃
加熱及び冷却速度 ≦60℃h-1
取付方向 自由