真空バルブ
手動式 インラインバルブ
直線的な配管仕切用として最適！
VAT Japan株式会社
※表示価格は税込みです
| リーク量：ボディ・バルブシート共 | ＜1・10-10Pa m3 s-1 | |
|---|---|---|
| 使用圧力範囲 | 1・10-6Pa to 0.2MPa/0.4MPa (abs) | |
| プレートにかけうる許容最大差圧 | ≦0.2MPa(開)/≦0.5MPa(閉) | |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≦0.1MPa(両方向) | |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 3,000,000 | |
| ベークアウト温度 | ボディ | ≦150℃ |
| 手動及び圧空アクチュエータ | ≦120℃ | |
| リミットスイッチ | ≦80℃(オプション：120℃) | |
| 電磁弁 | ≦80℃ | |