真空バルブ
高真空アングルバルブ手動式 26シリーズ
TMPと粗引きポンプの間の仕切り用に最適!
◎確実な動作、簡単なメンテナンス
◎洗練されたモジュラーデザイン
高真空アングルバルブの標準でベローズ軸シールを使用しています。
高い信頼性と耐久性があります。
◎確実な動作、簡単なメンテナンス
◎洗練されたモジュラーデザイン
高真空アングルバルブの標準でベローズ軸シールを使用しています。
高い信頼性と耐久性があります。
VAT Japan株式会社
※表示価格は税込みです
| リーク量：ボディ・バルブシート共 | ＜1・10-10Pa m3 s-1 | |
|---|---|---|
| 使用圧力範囲 | 1・10-6Pa to 0.2MPa/0.4MPa (abs) | |
| プレートにかけうる許容最大差圧 | ≦0.2MPa(開)/≦0.5MPa(閉) | |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≦0.1MPa(両方向) | |
| ベークアウト温度 | ボディ | ≦150℃ |
| 手動及び圧空アクチュエータ | ≦120℃ | |