真空バルブ
アイソレイトバルブ V-025SV
主にロータリーポンプの吸気口に取り付て使用します。
カットバルブとベントバルブの機能を兼ね備えた自動バルブです。
⇒停電や誤操作によるオイルの逆流防止
ロータリーポンプ停止後、自動で被排気系側をカットオフ(真空封止)し、その後ロータリーポンプを大気ベントします。
カットバルブとベントバルブの機能を兼ね備えた自動バルブです。
⇒停電や誤操作によるオイルの逆流防止
ロータリーポンプ停止後、自動で被排気系側をカットオフ(真空封止)し、その後ロータリーポンプを大気ベントします。
キヤノンアネルバ株式会社
※表示価格は税込みです
| 商品番号 | V-025SV-1AC | V-025SV-2AC |
|---|---|---|
| 使用圧力領域 | 大気圧～10-2Pa程度 | |
| リーク量 | ＜5×10-7Pa・m3/sec | |
| コンダクタンス | 420L/min | |
| メンテナンスタイム | 30,000サイクル又は1年 | |
| 主要部材質 | 真空シール部：フッ素ゴムＯリング ニトリルゴム ボディ、弁体、スプリング : SUS３０４ 軸シール潤滑剤 :シリコングリス |
|
| 接続フランジ | NW25フランジ | |
| 使用流体 | 大気またはガス（腐食性ガスを除く） | |
| 使用環境 | 周囲温度10℃～40℃ | |
| 電磁弁定格 | AC100V、50/60Hz | AC200V、50/60Hz |
| 重量 | 1kg | |