プロセスガスモニタ

スパッタ装置で差動排気なしでプロセス中のガスをモニターできる

【特長】
・成膜中に高感度で水素を検出可能
・メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト
・さまざまなアラーム機能により、生産中に異常を検出