スピーディ(ダイアフラム)バルブ
・バルブ開放をビジュアル表示する使いやすいバルブ(SP10K~SP25K)
・10-7Pam3/sを超える気密性
・ダイアフラムは完全に機構を真空システムから隔離
・極めて丈夫で「不純物の多い」システムでも使用可能
・0.9MPaの過圧に耐えうる(コーシール使用時)
・容易な保全ーダイアフラムの素材選択可能
エドワーズ株式会社
※表示価格は税込みです
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