超高真空マニピュレータ
マグネットフィードスルー/AMF-133シリーズ
マグネットカップリング方式を採用した超高真空領域に対応できるトランスファーロッドです。
従来のφ6シャフトをφ8シャフトに変更したことにより、軸強度及び精度を上げました。
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 許容リーク量 | ≦1.33x10-11Pa・m3/sec |
|---|---|
| 駆動方式 | マグネットカップリング方式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 直進力 | 60N |
| 回転トルク | 0.35Nm |
| 型 式 | Z軸移動距離 (mm) |
A接続フランジ | 移動軸径 (mm) |
C （mm） |
重量 （Kg） |
|---|---|---|---|---|---|
| AMF-133-1/100 | 100 | ICF34-FH | φ8 (g6)※接続部φ6 | 286 | 1 |
| AMF-133-1/150 | 150 | 336 | |||
| AMF-133-1/200 | 200 | 386 | 2.1 | ||
| AMF-133-1/250 | 250 | 436 | |||
| AMF-133-1/300 | 300 | 486 | |||
| AMF-133-1/400 | 400 | 586 | 2.2 |
