超高真空マニピュレータ
直線導入機 ALMRシリーズ
真空中の直線移動が大気側から操作できる直線導入機です。
[特長]
1.圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
2.中実型：軸径φ6 (g6)
3.直進力：120N
4.分解能：0.01mm
5.モーター駆動にも対応可能
[特長]
1.圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
2.中実型：軸径φ6 (g6)
3.直進力：120N
4.分解能：0.01mm
5.モーター駆動にも対応可能
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
[仕様]
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa･m3/sec |
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 直進力 | 120N |
型 式 |
Z軸移動距離(mm) Z軸移動精度(mm) |
A接続フランジ |
移動軸径 (mm) |
C （mm） |
D （mm） |
重量 （Kg） |
| ALMR-133/10 | 10 0.01 |
ICF34-FH | φ6 (g6) |
130.5 | 50～ 60 | 0.7 |
| ALMR-133/20 | 20 0.01 |
153.5 | 50～ 70 | 0.8 | ||
| ALMR-133/50 | 50 0.01 |
213.5 | 50～100 | 0.9 | ||
| ALMR-275/10 | 10 0.01 |
ICF70-FH | 130.5 | 50～ 60 | 1 | |
| ALMR-275/20 | 20 0.01 |
153.5 | 50～70 | 1 | ||
| ALMR-275/50 | 50 0.01 |
213.5 | 50～100 | 1.4 |
