真空ポンプ
磁気軸受ターボ分子ポンプ TMP M
あらゆる分野に使用できるベストセラー
・到達圧力の測定
・残留ガスの測定
・ポンプ回転数可変機能
25-100％の範囲で設定が可能。排気機能を調整できます。
・一体型ロータ翼
・チューニングフリー
ターボ分子ポンプ、ケーブル、電源装置の組み合わせに互換性があり、組合わせを変更した場合にでも再調整は不要です。
・停電時の対応
タッチダウンベアリングは260回の停電によるタッチダウンに耐えます。
・到達圧力の測定
・残留ガスの測定
・ポンプ回転数可変機能
25-100％の範囲で設定が可能。排気機能を調整できます。
・一体型ロータ翼
・チューニングフリー
ターボ分子ポンプ、ケーブル、電源装置の組み合わせに互換性があり、組合わせを変更した場合にでも再調整は不要です。
・停電時の対応
タッチダウンベアリングは260回の停電によるタッチダウンに耐えます。
株式会社島津製作所
※表示価格は税込みです
| ターボ分子ポンプ | TMP-203LM | TMP-203M | |
|---|---|---|---|
| 吸気口側フランジ | VG100 / ICF152 | ||
| 排気口側フランジ | KF25 | ||
| 冷却方法 | 水冷 | 空冷 | |
| 到達圧力 （ベーキング後） （注1） | 10-8 Pa オーダ | 10-8 Pa オーダ | |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 | 200 Pa | 1.3 Pa | |
| 連続運転時の最大排気口圧力 | 400 Pa | 40 Pa | |
| 排気速度 （注2） |
N2 He H2 |
190 L/s 140 L/s 120 L/s |
|
| 圧縮比 |
N2 He H2 |
1×109 6×104 4×103 |
|
| 規定回転数 | 50000 rpm | ||
| 起動時間 | 5分以内 | ||
| 取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||
| ポンプ吸気口ベーキング温度 | 120 ℃以下 | ||
| 振動 ［弊社測定方法による］ | 0.012 μm 以下 （片振幅） | ||
| 推奨ガスパージ流量 | 20 ～ 30 mL/min （注3） | ||
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 200 L/min 以上 | ||
| 許容周囲温度 | 0 ～ 40 ℃ | ||
| 許容磁束密度 |
半径方向 軸方向 |
3 mT 15 mT |
|
| 冷却水 |
流量 水圧 水温 |
1 ～ 3 L/min 0.2 ～ 0.5 MPa 5 ～ 30 ℃ |
― |
| 質量 | 9 kg | ||
| ターボ分子ポンプ | TMP-303LM | TMP-303M | |
|---|---|---|---|
| 吸気口側フランジ | VG100 / ICF152 | ||
| 排気口側フランジ | KF25 | ||
| 冷却方法 | 水冷 | 空冷 | |
| 到達圧力 （ベーキング後） （注1） | 10-8 Pa オーダ | 10-8 Pa オーダ | |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 | 200 Pa | 1.3 Pa | |
| 連続運転時の最大排気口圧力 | 400 Pa | 40 Pa | |
| 排気速度 （注2） |
N2 He H2 |
320 L/s 340 L/s 320 L/s |
|
| 圧縮比 |
N2 He H2 |
1×109 8×104 1×104 |
|
| 規定回転数 | 45000 rpm | ||
| 起動時間 | 5分以内 | ||
| 取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||
| ポンプ吸気口ベーキング温度 | 120 ℃以下 | ||
| 振動 ［弊社測定方法による］ | 0.012 μm 以下 （片振幅） | ||
| 推奨ガスパージ流量 | 20 ～ 30 mL/min （注3） | ||
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 200 L/min 以上 | ||
| 許容周囲温度 | 0 ～ 40 ℃ | ||
| 許容磁束密度 |
半径方向 軸方向 |
3 mT 15 mT |
|
| 冷却水 |
流量 水圧 水温 |
1 ～ 3 L/min 0.2 ～ 0.5 MPa 5 ～ 30 ℃ |
─ |
| 質量 | 14 kg | ||
| ターボ分子ポンプ | TMP-403LM | TMP-403M | |
|---|---|---|---|
| 吸気口側フランジ | VG150 / ICF203 | ||
| 排気口側フランジ | KF25 | ||
| 冷却方法 | 水冷 | 空冷 | |
| 到達圧力 （ベーキング後） （注1） | 10-8 Pa オーダ | 10-8 Pa オーダ | |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 | 200 Pa | 1.3 Pa | |
| 連続運転時の最大排気口圧力 | 400 Pa | 40 Pa | |
| 排気速度 （注2） |
N2 He H2 |
420 L/s 360 L/s 340 L/s |
|
| 圧縮比 |
N2 He H2 |
1×109 8×104 1×104 |
|
| 規定回転数 | 45000 rpm | ||
| 起動時間 | 5分以内 | ||
| 取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||
| ポンプ吸気口ベーキング温度 | 120 ℃以下 | ||
| 振動 ［弊社測定方法による］ | 0.012 μm 以下 （片振幅） | ||
| 推奨ガスパージ流量 | 20 ～ 30 mL/min （注3） | ||
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 200 L/min 以上 | ||
| 許容周囲温度 | 0 ～ 40 ℃ | ||
| 許容磁束密度 |
半径方向 軸方向 |
3 mT 15 mT |
|
| 冷却水 |
流量 水圧 水温 |
1 ～ 3 L/min 0.2 ～ 0.5 MPa 5 ～ 30 ℃ |
─ |
| 質量 | 14 kg | ||
| ターボ分子ポンプ | TMP-803LM | TMP-803M | |
|---|---|---|---|
| 吸気口側フランジ | VG150 / ICF203 | ||
| 排気口側フランジ | KF40 | ||
| 冷却方法 | 水冷 | 空冷 | |
| 到達圧力 （ベーキング後） （注1） | 10-9 Pa オーダ | 10-9 Pa オーダ | |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 | 400 Pa | 1.3 Pa | |
| 連続運転時の最大排気口圧力 | 665 Pa | 40 Pa | |
| 排気速度 （注2） |
N2 He H2 |
800 L/s 800 L/s 700 L/s |
|
| 圧縮比 |
N2 He H2 |
1×109 以上 8×104 4×103 |
|
| 規定回転数 | 35000 rpm | ||
| 起動時間 | 5分以内 | ||
| 取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||
| ポンプ吸気口ベーキング温度 | 120 ℃以下 | ||
| 振動 ［弊社測定方法による］ | 0.01 μm 以下 （片振幅） | ||
| 推奨ガスパージ流量 | 20 ～ 30 mL/min （注3） | ||
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 500 L/min 以上 | ||
| 許容周囲温度 | 0 ～ 40 ℃ | ||
| 許容磁束密度 |
半径方向 軸方向 |
3 mT 15 mT |
|
| 冷却水 |
流量 水圧 水温 |
1 ～ 3 L/min 0.2 ～ 0.5 M Pa 5 ～ 30 ℃ |
─ |
| 質量 | 33 kg | ||
| ターボ分子ポンプ | TMP-1003M | |
|---|---|---|
| 排気口側フランジ | KF40 | |
| 冷却方法 | 空冷 | |
| 到達圧力 （ベーキング後） （注1） | 10-9 Pa オーダ | |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 | 1.3 Pa | |
| 連続運転時の最大排気口圧力 | 40 Pa | |
| 排気速度 （注2） |
N2 He H2 |
1080 L/s 930 L/s 790 L/s |
| 圧縮比 |
N2 He H2 |
1×109 8×104 4×103 |
| 規定回転数 | 35000 rpm | |
| 起動時間 | 5分以内 | |
| 取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | |
| ポンプ吸気口ベーキング温度 | 120 ℃以下 | |
| 振動 ［弊社測定方法による］ | 0.01 μm 以下 （片振幅） | |
| 推奨ガスパージ流量 | 20 ～ 30 mL/min （注3） | |
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 500 L/min 以上 | |
| 許容周囲温度 | 0 ～ 40 ℃ | |
| 許容磁束密度 |
半径方向 軸方向 |
3 mT 15 mT |
| 質量 | 32 kg 以下 | |
| 注1 | 吸気口フランジに金属ガスケットを使用した場合の値です。 Oリングガスケットを使用した場合は，到達圧力は10-7 Pa オーダとなります。 |
|---|---|
| 注2 | 保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は180 L/sとなります。 |
| 注3 | mL/minは0 ℃，1気圧での体積流量で表示しています。 （SCCM表記と等価です。） |
