真空計・圧力計
ワイドレンジ電離真空計セット
省スペース化と軽量化を実現
フィラメント切換え機能がリモートI/O操作でも行える
RS232Cの通信機能も標準装備
自動制御が行い易く、操作も容易
- 小型（1/4ラックサイズ）、軽量化(1.2kg)
- 圧力レンジ自動切換
- 豊富な外部制御機能により遠隔操作が行えます。
- セットポイントを２点標準装備
- ＣＥマーキング適合&UL規格準拠
- 入力電圧はワイド電圧
キヤノンアネルバ株式会社
※表示価格は税込みです
M-431HGワイドレンジ電離真空計
| 圧力表示範囲 | 0.01×10-7～13.2×100Pa |
|---|---|
| 圧力表示 | デジタル、測定レンジ自動切換 |
| セットポイント | ２点標準装備（ヒステリシス付） |
| D/A出力 | LOGまたは複合出力切換（0～10V） |
| アナログ出力 | 0～10V（APC対応出力） |
| 外部制御機能（リモート操作） | INPUT ：ﾌｨﾗﾒﾝﾄON/OFF ﾊﾟﾗﾒｰﾀLOCK ：ﾌｨﾗﾒﾝﾄ切換 ﾃﾞｶﾞｽON/OFF ：ﾚﾝｼﾞﾎｰﾙﾄﾞ OUTPUT：ｾｯﾄﾎﾟｲﾝﾄ1,2 ：ﾌｨﾗﾒﾝﾄON/OFFｽﾃｰﾀｽ ：ﾃﾞｶﾞｽｽﾃｰﾀｽ ﾌｨﾗﾒﾝﾄ1/2ｽﾃｰﾀｽ |
| 通信機能 | RS232C標準搭載 (9600,4800,2400,1200bps) |
| 寸法・質量 | 104W×99H×296D 1.2Kg |
| 所要電力 | 50VA AC90～240V 50/60Hz 付属ｹｰﾌﾞﾙは100V仕様 200Vで使用される場合は別途ご相談下さい。 |
| エミッション電流 | 10µA,100µA,1mA（自動切換または固定） |
| ガス出し | ｸﾞﾘｯﾄﾞ通電加熱方式、通電ﾀｲﾏｰ３分 |
| フィラメント切換 | ｷｰ及びﾘﾓｰﾄI/O操作 |
| フィラメント保護 | 13.3×100Pa |
| 対応 | CEマーキング、RoHS(Category9) |
ミニチュアゲージ
| 型式 | MG-2F | MG-2 |
|---|---|---|
| ﾎﾞﾃﾞｨｰ材質 | SUS304 | |
| 測定上限圧力 | 13Pa | |
| 測定下限圧力 | 10-7Pa台 | 10-6Pa台 |
| 感度 | 0.045Pa-1 | |
| ﾌｨﾗﾒﾝﾄ | ﾌｨﾗﾒﾝﾄ２本内蔵ﾌｨﾗﾒﾝﾄ材：ｲｯﾄﾘｱｺｰﾄｲﾘｼﾞｳﾑ線 | |
| 測定球容積 | 約12cc | |
| 所要電力ﾌｨﾗﾒﾝﾄ/ｸﾞﾘｯﾄﾞﾃﾞｶﾞｽ | 2.3W/1.0W | |
| ﾃﾞｶﾞｽ方式 | ｸﾞﾘｯﾄﾞ通電 | |
| 取付方法 | φ70ICFﾌﾗﾝｼﾞに接続 | φ15ｹﾞｰｼﾞｱﾀﾞﾌﾟﾀまたは、各種ﾌﾗﾝｼﾞに溶接可 |
- M-431HGワイドレンジ電離真空計
- ミニチュアゲージ
- ミニチュアゲージ用ケーブル 5m
【用途】
- 自働化真空装置の圧力測定
- スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
- マルチチャンバシステムでの圧力測定
- 一般真空装置の圧力測定
