真空計・圧力計

M-833HG 電離真空計セット

ゲージはメタルのミニチュアゲージ専用機

◎圧力レンジが自動切換え
◎豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が行えます
◎セットポイントを2点標準装備

キヤノンアネルバ株式会社

※表示価格は税込みです

M-833HG_MG-2

MG-2+ケーブル

参考価格:¥580,800

販売価格:お問合わせ下さい

数 量:
商品番号 M-833HG
測定球 ミニチュアゲージMG-2シリーズ
圧力表示範囲 0.1×10-7〜9.9×100Pa
圧力表示 測定レンジ自動切換
セットポイント 2点標準装備(オープンコレクタ)
入力 100~240VAC, 100VA以下, 50/60Hz
D/A出力 0~10V:仮数部出力、指数部出力 0~11V:複合出力又はLOG出力
アナログ出力
(エレクトロメーター出力)
APCモード設定時(0.1~2.5V)
ノーマルモード設定時(0.1~1.6V)
外部制御機能
(リモート操作)
INPUT  :フィラメントON/OFF
      デガスON/OFF
      等6種類の外部制御機能
OUTPUT :6種類のステータス信号出力
特殊機能 APC対応:レンジホールド機能 エレクトロメータ出力機能
寸法・質量 H99×W209×D330 1.9kg
所要電力 100〜240VAC 100VA以下 50/60Hz
エミッション電流

10μA、100μA、1mA自動切換設定 又は固定設定

ガス出し グリッド通電加熱方式
フィラメント切換 キー及び、リモートI/O操作
フィラメント保護 オーバーレンジ設定値 又はエミッション電流±50%の変動
対応 CEマーキング、RoHS(category9)
【用途】

  • 自動化真空装置の圧力測定
  • スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
  • マルチチャンバシステムでの圧力測定
     一般真空装置の圧力測定