M-833HG 電離真空計セット
◎圧力レンジが自動切換え
◎豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が行えます
◎セットポイントを2点標準装備
キヤノンアネルバ株式会社
※表示価格は税込みです
| 商品番号 | M-833HG |
|---|---|
| 測定球 | ミニチュアゲージMG-2シリーズ |
| 圧力表示範囲 | 0.1×10-7〜9.9×100Pa |
| 圧力表示 | 測定レンジ自動切換 |
| セットポイント | 2点標準装備(オープンコレクタ) |
| 入力 | 100~240VAC, 100VA以下, 50/60Hz |
| D/A出力 | 0~10V:仮数部出力、指数部出力 0~11V:複合出力又はLOG出力 |
| アナログ出力 (エレクトロメーター出力) |
APCモード設定時(0.1~2.5V) ノーマルモード設定時(0.1~1.6V) |
| 外部制御機能 (リモート操作) |
INPUT :フィラメントON/OFF デガスON/OFF 等6種類の外部制御機能 OUTPUT :6種類のステータス信号出力 |
| 特殊機能 | APC対応:レンジホールド機能 エレクトロメータ出力機能 |
| 寸法・質量 | H99×W209×D330 1.9kg |
| 所要電力 | 100〜240VAC 100VA以下 50/60Hz |
| エミッション電流 |
10μA、100μA、1mA自動切換設定 又は固定設定 |
| ガス出し | グリッド通電加熱方式 |
| フィラメント切換 | キー及び、リモートI/O操作 |
| フィラメント保護 | オーバーレンジ設定値 又はエミッション電流±50%の変動 |
| 対応 | CEマーキング、RoHS(category9) |
- 自動化真空装置の圧力測定
- スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
- マルチチャンバシステムでの圧力測定
一般真空装置の圧力測定
























































