真空計・圧力計
M-723HG 電離真空計セット
1.圧力レンジは自動切換
2.圧力及び種々のメッセージが液晶表示
3.豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作
4.セットポイントを2点標準装備
5.記録計用出力として、D/A出力(仮数、指数、複合、LOGの4出力)を標準装備
6.APC用に、便利なレンジホールド機能を標準装備の為、設定圧力レンジへの固定/解除が可能
APC用の信号としてD/A出力とは別個に高速応答のアナログ出力を用意
7.ガス種による比感度の設定が可能
2.圧力及び種々のメッセージが液晶表示
3.豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作
4.セットポイントを2点標準装備
5.記録計用出力として、D/A出力(仮数、指数、複合、LOGの4出力)を標準装備
6.APC用に、便利なレンジホールド機能を標準装備の為、設定圧力レンジへの固定/解除が可能
APC用の信号としてD/A出力とは別個に高速応答のアナログ出力を用意
7.ガス種による比感度の設定が可能
キヤノンアネルバ株式会社
※表示価格は税込みです
| 測定球 | UGD-1S B-Aゲージ球 | |
|---|---|---|
| 圧力測定レンジ | 5レンジ自動切替 10-2､10-3､10-4､10-5､10-6Pa | |
| 測定レンジ切換 | 自動切換え(レンジホールド可) | |
| ガス出し | グリッド通電加熱方式 | |
| フィラメント切替 | 前面パネルと外部制御入力により切換可 | |
| フィラメント保護 | 圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅の いずれかに問題があると自動的にOFFする。 | |
| アナログ出力 | D/A出力(仮数部D/A出力、指数部D/A出力、複合D/A出力) アナログ生出力(エレクトロメータ出力) | |
| I/Oリモート | IN PUT | ﾌｨﾗﾒﾝﾄON/OFF入力、デガスON/OFF入力、ﾌｨﾗﾒﾝﾄｲﾝﾋﾋﾞｯﾄ入力 ﾚﾝｼﾞﾎｰﾙﾄﾞ1入力、ﾚﾝｼﾞﾎｰﾙﾄﾞ2入力、ﾌｨﾗﾒﾝﾄ切換入力、ｹﾞｰｼﾞ1/2切換入力(ｹﾞｰｼﾞｾﾚｸﾀｵﾌﾟｼｮﾝ使用時) |
| OUTPUT | ﾌｨﾗﾒﾝﾄON/OFF出力、デガスON/OFF出力、ﾘﾓｰﾄ/ﾛｰｶﾙ出力、ｾｯﾄﾎﾟｲﾝﾄ出力(2点)、ｹﾞｰｼﾞ1/2セレクト出力(ｹﾞｰｼﾞｾﾚｸﾀｵﾌﾟｼｮﾝ使用時)、ﾊﾟﾜｰON/OFF出力、ﾌｨﾗﾒﾝﾄ1/2出力、ｱﾗｰﾑ出力 | |
| セットポイント | 2セットポイント標準装備(オープンコレクタ) | |
| 外形寸法(mm) | H99×W209×D330 | |
| 所要電力 | AC100±10％2A、50/60Hz (AC115/200/230Vにも対応可能) | |
| 質量 | 5.4g | |
M-723HG電離真空計
B-Aゲージ球 UGD-1S
ケーブル5m
**用途**
・自動化真空装置の圧力計測
・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
・マルチチャンバシステムでの圧力測定
・一般真空装置の圧力測定
