超高真空マニピュレータ
マグネットフィードスルー/AMF-275シリーズ
大気側から、連続360°回転と直進移動が可能な、トランスファーロッドです。
※シャフト径φ16仕様(オプション)
※ストローク800,900,1000:シャフト径φ16(標準仕様)
※回転防止機構(オプション)
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 許容リーク量 | ≦1.33x10-11Pa・m3/sec |
|---|---|
| 駆動方式 | マグネットカップリング方式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 直進力 | 60N |
| 回転トルク | 0.6Nm |
| 型 式 | Z軸移動距離 (mm) |
A接続フランジ | 移動軸径 (mm) |
C （mm） |
重量（注） （Kg） |
|---|---|---|---|---|---|
| AMF-275/200 | 200 | ICF70-FH | φ10 (g6) φ16先端φ10(g6) |
420 | 2.6 |
| AMF-275/300 | 300 | 520 | 2.8 | ||
| AMF-275/400 | 400 | 620 | 3 | ||
| AMF-275/500 | 500 | 720 | 3.2 | ||
| AMF-275/600 | 600 | 820 | 3.3 | ||
| AMF-275/700 | 700 | 920 | 3.5 | ||
| AMF-275/800 | 800 | 1020 | 3.7 | ||
| AMF-275/900 | 900 | 1120 | 3.9 | ||
| AMF-275/1000 | 1000 | 1220 | 4.1 | ||
| AMF-275/1100 | 1100 | 1320 | 4.3 | ||
| AMF-275/1200 | 1200 | 1420 | 4.5 |
注)移動軸径φ10の場合
