超高真空マニピュレータ
XYステージ/AXYシリーズ
真空内試料の移動・位置決めをXY方向に対し,大気側から操作できます。
XY軸移動距離：±12.5mm
NM-ネジ式
SM型マイクロメーター(0.01mm)
LM型マイクロメーター(0.005mm)
※モーター駆動にも対応可能
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 型 式 |
XY軸移動距離(mm)/ XY移動軸精度(mm) |
A接続フランジ B移動フランジ |
C内径 （mm） |
D （mm） |
E （mm） |
F （mm） |
重量（Kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AXY-275NM | ±12.5 / 1.0 |
ICF70-FT ICF70-FT |
φ39 | 130 | 145.5±12.5 | 90 | 3.1 |
| AXY-275SM | ±12.5 / 0.01 | 199.5±12.5 | 3.4 | ||||
| AXY-275LM | ±12.5 / 0.005 | 193.5±12.5 | 3.5 | ||||
| AXY-4/275NM | ±12.5 / 1.0 | ICF114-FT ICF70-FT |
145.5±12.5 | 3.8 | |||
| AXY-4/275SM | ±12.5 / 0.01 | 199.5±12.5 | 3.9 | ||||
| AXY-4/275LM | ±12.5 / 0.005 | 193.5±12.5 | 4.1 | ||||
| AXY-4/4NM | ±12.5 / 1.0 | ICF114-FT | φ70 | 180 | 170.5±12.5 | 130 | 8.1 |
| AXY-4/4LM | ±12.5 / 0.005 | 218.5±12.5 | 8.4 | ||||
| AXY-6/4NM | ±12.5 / 1.0 | ICF152-FT ICF114-FT |
170.5±12.5 | 9.8 | |||
| AXY-6/4LM | ±12.5 / 0.005 | 218.5±12.5 | 10 | ||||
| AXY-8/4NM | ±12.5 / 1.0 | ICF203-FT ICF114-FT |
170.5±12.5 | 150 | 12 | ||
| AXY-8/4LM | ±12.5 / 0.005 | 218.5±12.5 |
※Xステージもございます。
