超高真空マニピュレータ
ロータリーステージ/ARSシリーズ
回転軸が中空構造と内蔵されたボールベアリングセットによって正確に回転するステージの位置を制御
ARPH-4とマニピュレーターを組み合わせることにより、高精度な位置決めが可能
中空型連続回転ステージで内蔵されたボールベアリングにより、ステージの位置決めを行えます。
※モーター駆動(オプション)…お問い合わせください。
ARPH-4とマニピュレーターを組み合わせることにより、高精度な位置決めが可能
中空型連続回転ステージで内蔵されたボールベアリングにより、ステージの位置決めを行えます。
※モーター駆動(オプション)…お問い合わせください。
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 許容リーク量 | ≦1.33x10-11Pa・m3/sec （1Pa以下の差動排気が必要） |
|---|---|
| 真空シール方式 | UHVシール方式 |
| 駆動方式 | ウォームギヤ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 角度分解能 | 0.1° |
| 回転速度 | 2rpm 以下 |
| 型 式 | A接続フランジ B移動フランジ |
C内径 （mm） |
D （mm） |
E （mm） |
F差動排気 フランジ |
G （mm） |
H （mm） |
I （mm） |
重量 （Kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ARS-275 | ICF70-FT ICF70-FT |
φ39 | 70 | 18 | ICF34-FT | 60 | 74 | 68.5 | 3.2 |
| ARS-4 | ICF114-FT ICF114-FT |
φ65 | 70 | 89 | 4.2 | ||||
| ARS-6 | ICF152-FT ICF152-FT |
φ105 | 90 | 119 | 96 | 6.4 | |||
| ARS-8 | ICF203-FT ICF203-FT |
φ155 | 100 | 33 | 120 | 169.5 | 174 | 13.5 |
